NbNを用いたSFQ回路の10K動作
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概要
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臨界温度が約16KであるNbNを用いて10K付近で動作する単一磁束量子(Single flux quantum:SFQ)論理回路の作製を試みた。回路は接合数976JJで臨界電流のばらつきが±5%以下のNbN/AlN/NbNトンネル接合をベースに2inch Si基板上に作製された。SFQパルスの発生、伝播および検出を行う回路を作製し測定した結果、ほぼ10Kに近い9.8Kまで正常な動作が確認された。その他、Confluence BufferやT-Flip-Flopなどの基本セルの動作を確認し、最も規模の大きな回路として接合数105JJからなる8bit Shift Resisterの8.5Kでの動作に成功した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-10-29
著者
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