NbN単一磁束量子(SFQ)回路の作製と10Kにおける動作特性
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概要
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臨界温度が約16KであるNbNを用いて10K付近で動作する単一磁束量子(Single flux quantum:SFQ)論理回路の作製を試みた.回路は接合数976JJで臨界電流のばらつきが±5%以下のNbN/AlN/NbNトンネル接合をベースに2inch Si基板上に作製された.SFQパルスの発生, 伝搬及び検出を行う回路の試作及び動作検証を行った結果, ほぼ10Kに近い9.8Kまで正常な動作が確認された.そのほか, 動作温度は8.5Kであるが, Confluence BufferやT-Flip-Flopなどの基本セルの動作を確認し, 最も規模の大きな回路として接合数105JJからなる8bit Shift Resisterの動作に成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-05-25
著者
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