Back-Irradiation Type Photo-Detector Arrays Using Field Emitter Deviece(<Special Issue>Recent Progress in Photon Detection Technology)
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概要
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A new type of photodetector called "photosensitive floating field emitter, (PFFE)" has been proposed. The PFFE device combines an n-type cone-shaped triode field emitter with a-Si p-i-n photodiode film. However, a PFFE cannot detect two-dimensional distributions of light intensity. In this paper, we propose a novel structure to overcome the above this problem of the PFFE. The device was fabricated on a silicon-on-sapphire substrate to permit irradiation from the backside, p-n photodiodes were constructed within a field emitters, the n+ region being separated by p+ regions to permit detection of two- dimensional light distributions. The emission current of the PFFE/SOS was found to be proportional to the illumination intensity, but the quantum efficiency was only about 2%. This quantum efficiency is lower than that expected. Under irradiation, the emission current increased, but the gate-leakage current increased. This gate-leakage current was several orders of magnitude larger than the emission current. Almost photo-generated electrons lost in the gate electrode.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-09-01
著者
-
Sawada K
Shizuoka Univ. Hamamatsu
-
Jung Young
School Of Electrical Engineering And Computer Science And Inmc Seoul National University
-
Ishida M
Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn
-
Ishida Makoto
Department Of Applied Chemistry & Biochemistry Faculty Of Engineering Kumamoto University
-
Takao Hidekuni
Department Of Electrical And Electronic Engineering Toyohashi University Of Technology
-
Sawada Kazuaki
Department Of Electrical And Electronic Engineering Toyohashi University Of Technology
-
Moriyasu Yoshitaka
Central Technology Laboratory Asahikasei Corporation
-
Ono Takashi
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Toyohashi University Of T
-
Ono Takashi
Department Of Biological Science And Technology Tokai University
-
Jung Young
School Of Computer And Electronics Engineering Kyongju University
-
Sawada Kazuaki
Department of Electric and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan
-
Takao Hidekuni
Department of Electric and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan
-
Sawada Kazuaki
Department of Electric and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology
-
Takao Hidekuni
Department of Electric and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology
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