半導体素子の宇宙適用性評価を目的としたI_<DDQ>測定法の検討
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概要
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宇宙用に用いられるデバイスは、民生用デバイスよりも高い信頼度を有する必要があり、これに伴いデバイスの評価手法も信頼度の高い手法が要求される。しかし、近年のデバイスの高機能化・大容量化に伴い、従来用いてきた機能試験では試験時間の長大化・故障検出率の低下といった問題が生じてきている。これらの問題に対し、民生用デバイス評価の分野において機能試験に代わる検査手法として用いられはじめているI_<DDQ>測定法に注目し、現在このI_<DDQ>N測定法をべースとした新しい評価手法の検討を行なっている。今回はその第一段階としてI_<DDQ>測定法と機能試験の比較検討を行い、I_<DDQ>測定法の有効性の検討を行なったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-14
著者
-
新藤 浩之
宇宙航空研究開発機構
-
松田 純夫
宇宙開発事業団
-
松崎 一浩
宇宙開発事業団
-
根本 規生
宇宙開発事業団
-
新藤 浩之
宇宙開発事業団
-
広瀬 孝幸
菱栄テクニカ
-
松田 純夫
宇宙航空研究開発機構総合技術研究本部
-
馬場 信次
菱栄テクニカ(株)
-
松崎 一浩
宇宙開発事業団 電子・情報系技術研究部
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