宇宙用64KBIT SRAM に対する BEAM BLANKING SEM と 重イオンによる SEU 試験の比較
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概要
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ビームブランキング SEM (Beam Blanking Scanning Electron Microscope)を用いて 64kbit SRAMメモリーセル上のソフトエラーを測定し、SEU 位置の確認に成功した。BBSEM および重イオン試験によって導かれた反転断面積対ビーム電流、LET 特性をそれぞれ比較した。その結果、BBSEM 電流と重イオン LET との間に線形性が確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-12-13
著者
-
松田 純夫
宇宙開発事業団
-
根本 規生
宇宙開発事業団
-
阿久津 亮夫
宇宙開発事業団
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松田 純夫
宇宙航空研究開発機構総合技術研究本部
-
松本 暁洋
宇宙開発事業団 電子・情報系技術研究部
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Pesce Anastasia
宇宙開発事業団
-
青木 司郎
宇宙開発事業団
-
羽田 尚志
日本電気株式会社
-
松本 暁洋
宇宙開発事業団技術研究本部電子・情報系技術研究部
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