CZ結晶における不純物濃度分布の数値解析

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1988-07-10

著者

• 早川 泰弘

  静岡大学電子工学研究所

• 熊川 征司

  静岡大学電子工学研究所

• 斉藤 幸夫

  静岡大学電子工学研究所

• 杉本 祐司

  静岡大学電子工学研究所

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