自己組織膜テンプレート上に析出した酸化亜鉛マイクロパターンのキャラクタリゼーション(<特集>セラミックスインテグレーション)
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概要
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ZnO micropatterns were fabricated through site-selective electroless deposition using seif-assembled monolayer template terminated with phenyl/OH-surface functional groups. ZnO was deposited only on the Pd-catalyzed phenyl-regions of the substrate. The feature edge acuity of the ZnO patterns was estimated as several times of the particle size of 〜0.2 μm. ZnO single crystal particles were grown on the substrate form ing a dense, mono-particulate layer. The broadening of X-ray diffraction peaks was attributed to the strain due to the defects originated in an aqueous solution. Transmission electron micrographs revealed that ZnO particles were continuously grown on the catalyzed substrate.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2002-05-01
著者
-
齋藤 紀子
物質・材料研究機構
-
羽田 肇
National Institute for Materials Science
-
羽田 肇
物質・材料研究機構
-
河本 邦仁
名大院工
-
李 迫
物質・材料研究機構物質研究所
-
河本 邦仁
名古屋大学大学院工学研究科
-
羽田 肇
無機材質研究所
-
河本 邦仁
名古屋大学・エコトピア科学研究所
-
河本 邦仁
名古屋大学大学院
-
李 迪
物質・材料研究機構 物質研究所
-
河本 邦仁
名古屋大学 大学院工学研究科 科学技術振興機構 CREST
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