自己組織膜及びチタンアルコキシドを用いた酸化チタン薄膜の選択成長 : 薄膜
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概要
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We succeeded in fabricating micropatterns of titanium dioxide thin films on SAMS (self-assembled monolayers). Amorphous films with approximate compositions Ti : O = 1 : 2.2 were selectively deposited on silanol regions of patterned OTS (octadecyltrichloro-silane) - SAMs. Line width variation of the pattern of an as-deposited film was improved to be well below the electronics design rule, 5 %. Annealing the films at high temperatures (400-600℃) gave rise to an anatase phase, while the resolution of a micropattern remained unchanged.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-07-01
著者
-
河本 邦仁
名大院工
-
徐 元善
名古屋大学大学院工学研究科物質科学専攻
-
増田 佳丈
産業技術総合研究所
-
増田 佳丈
名大院工
-
徐 元善
名大院工
-
増田 佳丈
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
河本 邦仁
名古屋大学大学院
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