有機高分子を含むゲル膜の生成と微細加工プロセスへの応用
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概要
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The influences of a variety of organic polymers on the formation of gel films and their applicability to the fine-patterning process have been studied in the system B_2O_3-SiO_2. Among the additives examined (polyether glycols, polyvinyl alcohol, celluloses, and formamide), polyether glycols such as polyethylene glycol and polytetramethylene glycol have been found to be the most suitable for the patterning process. This finding is ascribed to the properties of polyether glycols: sufficient solubility in alcohol and easy elimination by the heat-treatment, in addition to the effective retardation of the gelation time.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1988-12-01
著者
-
峠 登
大阪府立大学工学部応用化学科
-
南 努
大阪府立大学工学部応用化学科
-
南 努
大阪府立大学
-
峠 登
近畿大学理工学部金属工学科
-
峠 登
近畿大学
-
松野 好洋
日本板硝子(株)
-
片山 慎也
日本硝子(株)筑波研究所
-
松田 厚範
日本板硝子(株)筑波研究所
-
片山 慎也
日本板硝子(株)筑波研究所
-
池田 吉郎
日本板硝子(株)筑波研究所
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