ベンゾイルアセトンで化学修飾されたゲル膜の光分解によるAl_2O_3薄膜のパターニング
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概要
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The effects of UV irradiation on the properties of Al_20_3 gel films obtained froun Al (O sec Bu)_3 chemically modified with benzoylacetone have been studied. These gel fihns showed an optical absorption band at around 325 nm characteristic of the π-π^* transition in the chelate ring. The irradiation of UV light of 365 nm on the gel films dissociated the chelate ring and simultaneously decreased the solubility of the gel films in acetone solutions containing HN0_3. This finding was successfully applied to the fine patterning of Al_20_3 films. The gel films were irradiated with UV light and then leached in HN0_3 acetone solutions, followed by the heat treatment at 400℃ to form finely patterned Al_20_3 films on a variety of substrates.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1995-12-01
著者
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