高周波スパッタリングによるLi_2O-SiO_2系およびLi_2O-B_2O_3-SiO_2系非晶質薄膜の作製とイオン導電率[ノート](2. 気相反応法)(<特集>新技術によるセラミックスの合成と評価(I))
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1987-01-01
著者
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南 努
大阪府立大学工学部応用化学科
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南 努
大阪府立大学
-
辰巳砂 昌弘
大阪府立大学工学部
-
町田 信也
甲南大学理工学部機能分子化学科
-
町田 信也
大阪府立大学工学部応用化学科
-
辰巳砂 昌弘
大阪府立大学大学院工学研究科
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