25p-T-10 III-As半導体中のフッ素原子の拡散過程

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1998-09-05

著者

• 大野 隆央

  金材技研

• 田口 明仁

  NTT物性基礎研

• 佐々木 泰造

  金材技研

• 田口 明仁

  NTT基礎研究所

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