第一原理計算によるDSB接合界面のゲッタリング特性 : 金属不純物ゲッタリング効果
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概要
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- 2009-06-11
著者
-
末岡 浩治
岡山県立大学 情報工学部
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末岡 浩治
岡山県立大学大学院
-
仮屋崎 弘昭
岡山県立大学大学院
-
青木 竜彦
岡山県立大学大学院
-
泉妻 宏治
コバレントマテリアル株式会社
-
青木 竜彦
コバレントシリコン株式会社
-
泉妻 宏治
コバレントシリコン株式会社
-
末岡 浩治
岡山県立大
-
仮屋崎 弘昭
岡県大院
-
泉妻 宏治
コバレント
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