1604 FEMによるシリコンウェーハ熱処理時のスリップ発生の予測(OS16.シリコン強度とシミュレーション,オーガナイズドセッション)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2009-10-10

著者

• 青木 竜彦

  岡山県立大学大学院

• 泉妻 宏治

  コバレントマテリアル株式会社

• 青木 竜彦

  コバレントシリコン株式会社

• 荒木 浩司

  コバレントシリコン株式会社

• 須藤 治生

  コバレントマテリアル株式会社

• 東 真也

  東芝

• 柳澤 寛高

  東芝

• 須藤 治生

  コバレントマテリアル

• 泉妻 宏治

  コバレントシリコン株式会社

• 泉妻 宏治

  コバレント

• 青木 竜彦

  コバレント

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