泉妻 宏治 | コバレント
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概要
関連著者
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青木 竜彦
岡山県立大学大学院
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泉妻 宏治
コバレントマテリアル株式会社
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青木 竜彦
コバレントシリコン株式会社
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泉妻 宏治
コバレントシリコン株式会社
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泉妻 宏治
コバレント
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青木 竜彦
コバレント
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荒木 浩司
コバレントシリコン株式会社
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須藤 治生
コバレントマテリアル株式会社
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東 真也
東芝
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須藤 治生
コバレントマテリアル
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仮屋崎 弘昭
岡県大院
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末岡 浩治
岡山県立大学 情報工学部
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末岡 浩治
岡県大
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末岡 浩治
岡山県立大学大学院
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仮屋崎 弘昭
岡山県立大学大学院
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東 真也
株式会社東芝 生産技術センター
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柳澤 寛高
株式会社東芝 生産技術センター
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柳澤 寛高
東芝
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末岡 浩治
岡山県立大
著作論文
- 第一原理計算によるDSB接合界面のゲッタリング特性 : 金属不純物ゲッタリング効果
- 1804 シリコンウェーハアニールプロセスへのスリップシミュレーションの適用 : その2(OS18. シリコンとシミュレーション,オーガナイズドセッション講演)
- 1605 シリコンウェーハアニールプロセスへのスリップシミュレーションの適用(OS16.シリコン強度とシミュレーション,オーガナイズドセッション)
- 1604 FEMによるシリコンウェーハ熱処理時のスリップ発生の予測(OS16.シリコン強度とシミュレーション,オーガナイズドセッション)
- 1406 Si(110)/(100)界面に関する第一原理解析(OS14.シリコンとシミュレーション(2),OS・一般セッション講演)