青木 竜彦 | コバレントシリコン株式会社
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概要
関連著者
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青木 竜彦
コバレントシリコン株式会社
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青木 竜彦
岡山県立大学大学院
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コバレントマテリアル株式会社
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コバレントシリコン株式会社
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都立大理
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宇宙研
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岡山県立大学 情報工学部
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岡県大
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岡山県立大学大学院
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杉山 進
立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科
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OHSUGI Takashi
Physical Sciences, Hiroshima University
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Ohashi T
Osaka Prefecture Univ. Osaka
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大橋 隆哉
英国Leicester大学
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金森 義明
東北大・工
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Hiroshima Astrophysical Science Center Hiroshima University
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首都大学東京大学院理工学研究科
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株式会社東芝 生産技術センター
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垣内 巧也
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名古屋大
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杉山 進
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江副 祐一郎
首都大
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末岡 浩治
岡山県立大
著作論文
- 第一原理計算によるDSB接合界面のゲッタリング特性 : 金属不純物ゲッタリング効果
- 1804 シリコンウェーハアニールプロセスへのスリップシミュレーションの適用 : その2(OS18. シリコンとシミュレーション,オーガナイズドセッション講演)
- 1605 シリコンウェーハアニールプロセスへのスリップシミュレーションの適用(OS16.シリコン強度とシミュレーション,オーガナイズドセッション)
- 1604 FEMによるシリコンウェーハ熱処理時のスリップ発生の予測(OS16.シリコン強度とシミュレーション,オーガナイズドセッション)
- 27aGJ-7 マイクロマシン技術を用いた超軽量・高角度分解能X線光学系の開発と現状(27aGJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 1406 Si(110)/(100)界面に関する第一原理解析(OS14.シリコンとシミュレーション(2),OS・一般セッション講演)