第一原理計算による半導体Si単結晶の高品位化への提言 : 不純物ゲッタリングと酸化物析出
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概要
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- 2008-06-19
著者
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芝 世弐
岡山県立大学
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芝 世弐
岡山県立大学 情報工学部
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末岡 浩治
岡山県立大学 情報工学部
-
神村 憲
岡山県立大学 情報工学部
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芝 世弐
岡山県立大
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末岡 浩治
岡山県立大学情報工学部
-
末岡 浩治
岡山県立大
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