1402 FDTD法によるレーザー光散乱解析 : SOIウェーハの表面検査(OS14.シリコンとシミュレーション(1),OS・一般セッション講演)
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概要
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SOIウェーハ特有の特定形状欠陥(Top-Si膜のボイド)の散乱挙動を、FDTD法の汎用電磁気解析ソフトで解析した結果について報告する。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-10-08
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