Cu配線用拡散バリア材料
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-12-21
著者
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村上 正紀
学校法人立命館
-
村上 正紀
The Ritsumeikan Trust
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村上 正紀
京都大学 大学院工学研究科
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守山 実希
京都大学 大学院工学研究科
-
守山 実希
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
田中 三喜男
京都大学
-
森 英嗣
京都大学
-
奥 建夫
京都大学
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村上 正紀
京都大学
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