V. デバイス, デバイス材料 金属・半導体界面反応層の微細構造と電気特性
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概要
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- 1998-12-20
著者
-
小出 康夫
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
村上 正紀
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
奥 健夫
大阪大学産業科学研究所産業科学ナノテクノロジーセンター
-
村上 正紀
学校法人立命館
-
村上 正紀
The Ritsumeikan Trust
-
守山 実希
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
奥 健夫
大阪大学産業科学研究所
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