「次世代ULSIデバイスのための誘電体薄膜 : 科学と技術」に関する2004年国際ワークショップ報告

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概要

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• 2004-09-10

著者

• 宮崎 誠一

  広大院先端研

• 宮崎 誠一

  広大院先端物質科学

• 財満 鎭明

  名大院工

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