液晶ディスプレイの製造工程におけるFIB/TEMの活用
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概要
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- 日本顕微鏡学会の論文
- 2002-11-30
著者
-
黒田 光太郎
名古屋大学工学部
-
坂 公恭
名古屋大学工学部
-
黒田 光太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
坂 公恭
名古屋大
-
辻 智
インターナショナルディスプレイテクノロジー株式会社品質保証テクノロジー評価技術
-
坂 公恭
名大・大学院
-
辻本 勝浩
九州大学超高圧電子顕微鏡室
-
辻 智
日本アイ・ビー・エム株式会社大和事業所
-
坂 公恭
名古屋大学
-
辻本 勝浩
日本アイ・ビー・エム(株)
-
辻 智
日本アイ・ビー・エム(株)
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