電子シャワー法によるAIN薄膜の作製
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概要
著者
-
土谷 敏雄
東理大・基礎工
-
湯本 久美
東京理科大・基礎工
-
石原 正統
物質工学工業技術研究所
-
土谷 敏雄
東京理大 基礎工
-
土谷 敏雄
東京理科大学基礎工学部
-
石原 正統
東京理科大学 基礎工学部
-
明石 和夫
東京理科大学 理工学部
-
湯本 久美
東京理科大学大学院
-
土谷 敏雄
東京理科大学基礎工学部材料工学科
-
湯本 久美
東京理科大学基礎工学部材料工学科
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明石 和夫
東京理科大学理工学部工業化学科
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