モード変換型マイクロ波プラズマMOCVD法による(111)配向ZrO_2膜の低温堆積
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概要
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- 1998-03-01
著者
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伊藤 滋
東京理科大学理工学部工業化学科
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伊藤 滋
東京理科大学理工学部
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伊藤 滋
東京理科大学
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明石 和夫
東京理科大学 理工学部
-
小松 洋介
東京理科大学 理工学部
-
明石 和夫
東京理科大学理工学部工業化学科
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伊藤 滋
東京理科大学 理工学部
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