R. F誘導結合型プラズマを用いたスパッタリングによる窒化ホウ素薄膜の作製
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概要
著者
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伊藤 滋
東京理科大学理工学部工業化学科
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伊藤 滋
東京理科大学理工学部
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伊藤 滋
東京理科大学
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明石 和夫
東京理科大学 理工学部
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明石 和夫
東京理大 理工
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賀曽利 裕
東京理科大学 理工学部
-
浅沼 治朋
東京理科大学 理工学部
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