モード変換型マイクロ波プラズマ発生装置による酸窒化シリコン膜のMOCVD
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概要
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- 1996-10-21
著者
-
伊藤 滋
東京理科大学理工学部
-
宮原 高志
東理大・理工
-
佐藤 貴康
東理大・理工
-
伊藤 滋
東理大・理工
-
明石 和夫
東理大・理工
-
明石 和夫
東京理大 理工
-
佐藤 貴康
東京理科大学 理工学 部日本学術振興会
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