明石 和夫 | 東理大・理工
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概要
関連著者
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明石 和夫
東理大・理工
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明石 和夫
東京理大 理工
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伊藤 滋
東京理科大学理工学部
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佐藤 貴康
東理大・理工
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伊藤 滋
東理大・理工
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佐藤 貴康
東京理科大学 理工学 部日本学術振興会
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山田 仁子
東京理科大学 理工学部
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湯本 久美
東理大・基礎工
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宮原 高志
東理大・理工
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山田 仁子
東理大・理工
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湯本 久美
東京理科大学大学院
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湯本 久美
東京理科大学基礎工学部材料工学科
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関 務
東京ガス株式会社基礎技術研究所
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左右木 公嗣
東理大・基礎工
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関 務
東京ガス(株)
著作論文
- モード変換型マイクロ波プラズマ発生装置による酸窒化シリコン膜のMOCVD
- 低圧高周波誘導プラズマの高密度化とその表面改質への応用
- 22pB7 アークイオンプレーティング法によるNb膜の成長機構(気相成長IV)