島津 ひろみ | 日立・機械研
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概要
関連著者
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島津 ひろみ
日立機械研
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島津 ひろみ
日立・機械研
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島津 ひろみ
(株)日立製作所機械研究所
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太田 裕之
(株)日立製作所
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太田 裕之
日立機械研
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丹野 洋平
日立機械研
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太田 裕之
日立機械研究所
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太田 裕之
日立・機械研
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
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島津 ひろみ
日立 機械研
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丹野 洋平
日立・機械研
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三浦 英生
(株)日立製作所機械研究所
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岩崎 富生
(株)日立製作所機械研究所
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岩崎 富生
(株)日立製作所
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南谷 林太郎
日立製作所 機械研究所
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高田 龍二
日立建機(株)技術開発センター
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熊谷 幸博
(株)日立製作所
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熊谷 幸博
日立機械研
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下平 貴之
日立建機
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澄川 貴志
京都大学大学院工学研究科
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丹野 洋平
(株)日立製作所機械研究所
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岩崎 富生
日立・機械研
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石川 憲輔
日立・マイクロデバイス
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大島 隆文
日立・マイクロデバイス
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三浦 英生
日立機械研
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澄川 貴志
京都大学大学院
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大島 隆文
(株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部
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南谷 林太郎
(株)日立製作所機械研究所
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初田 俊雄
(株)日立製作所機械研究所
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松井 裕一
(株)日立製作所中央研究所
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石川 憲輔
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部
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笠井 憲一
(株)日立製作所
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岩崎 富生
(株)日立製作所 機械研究所
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南谷 林太郎
日立 機械研
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高田 龍二
日立建機
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松井 裕一
(株)日立製作所 中央研究所
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南谷 林太郎
(株)日立製作所日立研究所
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太田 裕之
(株)日立製作所機械研究所
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岩崎 富生
（株） 日立製作所 日立研究所
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石川 憲輔
（株）日立製作所 マイクロデバイス事業部
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島津 ひろみ
（株） 日立製作所 日立研究所
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大島 隆文
（株）日立製作所 マイクロデバイス事業部
著作論文
- 1310 半導体ひずみセンサを応用したピン型ロードセルの開発(J14-2 知的材料・構造システム(2) 計測・モニタリングI,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2512 高感度ひずみセンサによるひずみモニタリング(J10-3 計測・モニタリング・解析(3),J10 知的材料・構造システム)
- 機械系センサネット用低消費電力半導体ひずみセンサの開発
- 3207 半導体ひずみセンサによる2軸ひずみ場の計測(J06-2 計測・モニタリングI,J06 知的材料・構造システム)
- 3206 半導体ひずみセンサによる回転体のひずみモニタリング(J06-2 計測・モニタリングI,J06 知的材料・構造システム)
- 3205 ひずみセンサの感度に関する考察(J06-2 計測・モニタリングI,J06 知的材料・構造システム)
- 銅配線構造における応力誘起ボイドに関する検討(S05-5 ナノ・マイクロ構造体の信頼性,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
- 不活性冷媒中での銅の腐食挙動
- 442 応力制御によるTiシリサイド配線構造の高信頼設計(OS01-5 電子デバイス実装・電子材料と計算力学(5))(OS01 電子デバイス実装・電子材料と計算力学)
- コバルトシリサイド薄膜形成過程における応力発生メカニズム
- Pt膜におけるヒロック発生メカニズムの解明
- ニッケルシリサイド薄膜形成過程における応力発生メカニズムの検討
- 銅配線における応力誘起ボイドの成長メカニズムと抑制手法の研究
- ニッケル元素添加による高耐熱コバルトシリサイドの開発