熊谷 幸博 | (株)日立製作所
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概要
関連著者
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熊谷 幸博
(株)日立製作所
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熊谷 幸博
日立機械研
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松井 裕一
(株)日立製作所 中央研究所
著作論文
- (4)ディープサブミクロンMOSFETの応力起因ドレイン電流変動評価手法の開発(論文,日本機械学会賞〔2007年度(平成19年度)審査経過報告〕)
- ディープサブミクロンMOSFETの応力起因ドレイン電流変動評価手法の開発
- Pt膜におけるヒロック発生メカニズムの解明