前川 径一 | (株)ルネサステクノロジ
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概要
関連著者
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太田 裕之
(株)日立製作所
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前川 径一
(株)ルネサステクノロジ
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熊谷 幸博
日立機械研
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太田 裕之
日立機械研究所
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
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清水 昭博
(株)ルネサステクノロジ
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蒲原 史朗
ルネサステクノロジ
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熊谷 幸博
(株)日立製作所
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蒲原 史朗
(株)ルネサステクノロジ
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
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太田 裕之
日立機械研
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前川 径一
ルネサステクノロジ
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三浦 英生
日立機械研
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三浦 英生
東北大
著作論文
- (4)ディープサブミクロンMOSFETの応力起因ドレイン電流変動評価手法の開発(論文,日本機械学会賞〔2007年度(平成19年度)審査経過報告〕)
- ディープサブミクロンMOSFETの応力起因ドレイン電流変動評価手法の開発
- MOSFETドレイン電流の半導体浅溝素子分離(STI)構造起因応力によるレイアウト依存性(技術OS3-1 半導体デバイス,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)