加藤 勇 | 早稲田大学理工学術院先進理工学研究科
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概要
関連著者
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加藤 勇
早稲田大学理工学術院先進理工学研究科
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加藤 勇
早稲田大学理工学部電子通信学科
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加藤 勇
早稲田大学
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松下 亨
早稲田大学理工学部電子通信学科
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米田 俊之
早稲田大学理工学部電子通信学科
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斎藤 良平
早稲田大学理工学部
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山岸 俊浩
早稲田大学理工学部電子・情報通信学科
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森田 義則
早稲田大学理工学部電子・情報通信学科
-
山下 真
早稲田大学理工学部電子通信学科
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野島 信二
早稲田大学理工学部電子通信学科
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竹沢 永訓
早稲田大学理工学部電子通信学科
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堀田 和重
早稲田大学理工学部電子通信学科
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竹沢 永訓
(独)情報通信研究機構
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野島 信二
早稲田大学理工学部
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堀田 和重
早稲田大学理工学部
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佐藤 甲癸
湘南工科大
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伊藤 弘昌
東北大学 電気通信研究所
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小林 司
日電アネルバ
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佐藤 甲葵
湘南工科大学電気電子メディア工学科
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清水 肇
電子技術総合研究所
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森 一富
早稲田大学理工学部電子通信学科
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村上 寛
電子技術総合研究所
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毛塚 博史
東京工科大
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鈴木 恒則
東海大理
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緒方 潔
日新電機株式会社
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石川 雄一
株式会社日立製作所機械研究所
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阿部 哲也
日本原子力研究所那珂研究所
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多賀 康訓
豊田中央研究所
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岡野 達雄
東京大学生産技術研究所
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鈴木 恒則
東京工科大学
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山口 貢
(株)東芝
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伴野 達也
東京大学工学系研究科物理工学専攻
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後藤 敬典
名古屋工業大学
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鈴木 浩司
名古屋工業大学
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下田 毅
早稲田大
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工藤 勲
電子技術総合研究所
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戸田 義継
電子技術総合研究所
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鈴木 恒則
東海大学理学部物理学科
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前田 高雄
東京理科大学工学部
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小野 雅敏
電子技術総合研究所
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金本 悠平
早稲田大学理工学部
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坂本 元
早稲田大学理工学部
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元山 陽介
早稲田大学理工学部
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匂坂 雅彦
早稲田大学理工学部電子情報通信学科
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菅井 貴義
早稲田大学理工学部電子情報通信学科
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上垣内 岳司
早稲田大学理工学部電子情報通信学科
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神子 太郎
早稲田大学理工学部電子・情報通信学科
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中嶋 達司
早稲田大学理工学部電子通信学科
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近藤 行人
日本電子株式会社
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楠 勲
東北大学科学計測研究所
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一村 信吾
電子技術総合研究所
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鈴木 恒則
東海大学理学部
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宗村 哲雄
東京理科大学工学部電気工学科
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鈴木 恒則
東海大学 理学部
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小原 建治郎
日本原子力研究所
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小池 勲
福岡工業大学
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国分 清秀
電子技術総合研究所
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伊藤 弘孝
三菱電線工業(株)中央研究所基礎技術研究部
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平田 正紘
電子技術総合研究所
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飯塚 泰雄
京都工芸繊維大学物質工学科
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吉村 長光
日本電子株式会社
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平野 治男
日本電子株式会社
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丸野 尚彦
(株)長野計器製作所
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祐延 悟
(株)東芝
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大林 哲郎
(株)大阪真空機器製作所
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岩佐 康史
(株)東芝京浜事業所
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沢田 芳夫
(株)東芝重電技術研究所
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三木 信晴
(株)東芝
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中村 和幸
日本原子力研究所
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佐藤 甲葵
湘南工科大学
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佐藤 甲葵
湘南工科大学工学部電気工学科
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磯貝 秀明
電子技術総合研究所
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岡本 康治
日新電機株式会社
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上條 栄治
日新電機株式会社
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北原 洋明
日電アネルバ株式会社
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斉藤 茂
東京理科大学
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矢野 元康
早稲田大学理工学部電子通信科
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幸山 裕亮
早稲田大学理工学部電子通信科
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原 信二
早稲田大学理工学部電子通信学科
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江橋 克己
早稲田大学理工学部電子通信学科
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潮 嘉次郎
東京大学工学部物理工学科
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照井 佳幸
東北大学科学計測研究所
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小牧 昭二郎
セイコー電子工業
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府山 盛明
株式会社日立製作所日立研究所
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中野 文雄
株式会社日立製作所日立研究所
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船津 友希
早稲田大学理工学術院先進理工学研究科
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加藤 勇
早稲田大学理工学部電子通信科
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松田 七美男
東京大学工学部物理工学科
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細川 直吉
日電アネルバ
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阿部 哲也
日本原子力研究所
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稲葉 文男
東北大学
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辻 泰
東京大学生産技術研究所
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櫻井 誠
東京大学生産技術研究所
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安東 靖典
日新電機株式会社
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村上 義夫
日本原子力研究所
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曽我 太佐男
株式会社日立製作所日立研究所
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広木 成治
日本原子力研究所
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浜村 卓也
京都工芸繊維大学工芸学部化学教室
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田村 貞次郎
京都工芸繊維大学工芸部
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阿部 正一
(株)長野計器製作所
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伊藤 嘉規
(株)徳田製作所
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金子 粂太郎
東大原子核研究所
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小林 洋一
日本エム・ケー・エス(株)
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北条 久男
バキューム・プロダクツ株式会社
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清水 勝見
(株)長野計器製作所
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大脇 健史
豊田中央研究所
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金原 あきら
東京大学工学部物理工学科
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水由 明
三菱電線工業(株)
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前田 力
三菱電線工業(株)
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小林 則幸
(株)東芝
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佐々木 俊明
東北大学科学計測研究所
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末松 憲治
早稲田大学
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中島 顕生
早稲田大学
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中東 孝浩
日新電機株式会社
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栗山 昇
(株)徳田製作所
-
嶋田 健太郎
(株)徳田製作所
-
高木 繁
(株)徳田製作所
-
渡辺 直樹
日電アネルバ株式会社
-
桜井 武広
日電アネルバ株式会社
-
中村 一雄
日電アネルバ株式会社
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山下 鹿喜智
福岡工業大学
-
小林 司
日電アネルバ株式会社
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伊藤 弘昌
東北大学
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前田 高雄
東京理科大学
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沢田 芳夫
(株)東芝
-
伊藤 弘孝
三菱電線工業(株)
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宗村 哲雄
東京理科大学
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田村 貞次郎
京都工芸繊維大学
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小牧 昭二郎
セイコー電子工業株式会社
-
伴野 達也
東京大学工学部物理工学科
-
岩佐 康史
(株)東芝
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飯塚 泰雄
京都工芸繊維大学
-
浜村 卓也
京都工芸繊維大学
-
広木 成治
日本原子力研究所那珂研究所
著作論文
- SiN 膜装荷による薄膜導波路形偏光素子
- a-Si:Hナノボール膜からの Photoluminescence のブルーシフト
- Ar/H_2混合ガスプラズマを用いて製膜したa-Si:Hナノボール膜の膜質および発光特性
- マイクロ波プラズマCVDによる光ナノSi薄膜の作製とその評価
- 2重管式同軸線路形MPCVD装置を用いて作製したa-Si:H/Si_3N_4多層膜の膜質とその光回路素子への応用
- 縦磁界印加によるArプラズマの安定化
- 二重管式同軸線路形マイクロ波プラズマCVDにおけるN_2/SiH_4プラズマのパラメータの空間分布
- RFバイアス印加同軸線路形マイクロ波プラズマCVDによるSiN膜の低温作製
- マイクロ波プラズマ中に設置した電極の電位がプラズマパラメータに与える影響
- マイクロ波プラズマCVDにおけるラジカル種の制御
- スラブ光導波路を用いた装荷薄膜の屈折率測定
- 半導体膜装荷時の光導波路における透過率の装荷膜厚依存性
- プラズマCVDによって作製されたa-Si:H膜に与えるイオン衝撃の影響
- アブストラクト
- 二重管式同軸線路形マイクロ波プラズマCVD装置によるa-Si : H薄膜作成
- マイクロ波プラズマCVD法におけるSiH4の解離度
- 大気中での酸化を防いだ amorphous-SiNH ナノボール膜からの Photoluminescence 特性