米田 俊之 | 早稲田大学理工学部電子通信学科

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概要

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• 同名の論文著者
• 早稲田大学理工学部電子通信学科の論文著者

関連著者

• 米田 俊之

  早稲田大学理工学部電子通信学科

• 松下 亨

  早稲田大学理工学部電子通信学科

• 加藤 勇

  早稲田大学理工学部電子通信学科

• 加藤 勇

  早稲田大学理工学術院先進理工学研究科

• 加藤 勇

  早稲田大学

• 山下 真

  早稲田大学理工学部電子通信学科

著作論文

• マイクロ波プラズマCVDにおけるラジカル種の制御
• プラズマCVDによって作製されたa-Si:H膜に与えるイオン衝撃の影響
• プラズマCVD法におけるDCバイアスと基板テ-ブル面積のSiH結合量への影響 (熱プラズマ)
• マイクロ波プラズマにおけるDCバイアスと基板テ-ブル面積のプラズマパラメ-タへの影響

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