半導体膜装荷時の光導波路における透過率の装荷膜厚依存性
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概要
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我々は、シングルモードの光導波路上に金属や半導体薄膜を装荷する光回路素子の研究を行ってきた。また、マルチモードの光導波路をセンサーとして用い、光導波路上に半導体膜を装荷し、装荷膜の光学定数を測定する研究を行っている。こうした研究では、装荷膜厚が変化したときの導波光の伝搬特性を把握することが必要となる。実験結果より、光導波路の透過率の装荷膜厚依存性は振動しながら減衰する。この現象をスラブ光導波路のシミュレーションにより解析したところ、実験結果と一致したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
佐藤 甲癸
湘南工科大
-
加藤 勇
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
野島 信二
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
竹沢 永訓
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
堀田 和重
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
竹沢 永訓
(独)情報通信研究機構
-
野島 信二
早稲田大学理工学部
-
堀田 和重
早稲田大学理工学部
-
加藤 勇
早稲田大学理工学術院先進理工学研究科
-
加藤 勇
早稲田大学
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