スラブ光導波路を用いた装荷薄膜の屈折率測定
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概要
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これまで、我々は、スラブ光導波路に半導体薄膜を装荷し、導波光の透過率の測定を行うことにより、a-Si:Hの光学エネルギーギャップEoのその場測定を行ってきた。このとき、透過率は装荷膜厚の増加に従って、振動を伴って減少してゆく。さらにこのことをスラブ導波路シミュレーションにより明らかにした。この結果、透過率の振動の周期は導波光の波長λと、その波長における装荷膜と光導波路の屈折率、n_t(λ)とn_w(λ)に依存することがわかった。本研究では、透過率の振動に現れる最初の極小値を与える膜厚d_o(λ)、光導波路の屈折率n_w(λ)から装荷膜の屈折率n_f(λ)を求める測定法を開発したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
加藤 勇
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
野島 信二
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
竹沢 永訓
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
堀田 和重
早稲田大学理工学部電子通信学科
-
竹沢 永訓
(独)情報通信研究機構
-
野島 信二
早稲田大学理工学部
-
堀田 和重
早稲田大学理工学部
-
加藤 勇
早稲田大学理工学術院先進理工学研究科
-
加藤 勇
早稲田大学
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