新材料部会講演 窒化物化合物半導体の厚膜結晶成長技術 : HVPE成長を中心にして
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概要
著者
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村上 尚
東京農工大学
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Koukitu Akinori
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technol
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熊谷 義直
東京農工大学大学院工学研究院
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纐纈 明伯
東京農工大学大学院工学研究院応用化学部門
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