Self-Separation of a Thick AIN Layer from a Sapphire Substrate via Interfacial Voids Formed by the Decomposition of Sapphire

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概要

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• Japan Society of Applied Physicsの論文
• 2008-04-25

著者

• 川添 良幸

  東北大 金属材料研

• Murakami Hisashi

  Department of Cardiology, Social Insurance Chukyo Hospital

• KOUKITU Akinori

  Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology

• Murakami H

  Institute For Molecular Science

• Kobayashi Y

  Tokai Univ. Kanagawa Jpn

• Kobayashi Y

  Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Kyoto Jpn

• Murakami Hisashi

  Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tokyo University Of Agriculture And T

• Murakami Hisashi

  Department Of Applied Chemistry Faculty Of Technoloty Tokyo University Of Agricultrue And Technoloty

• KUMAGAI Yoshinao

  Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology

• Koukitu Akinori

  Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technol

• Koukitu Akinori

  Department Of Applied Chemistry Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Kumagai Y

  Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tokyo University Of Agriculture And T

• Kangawa Yoshihiro

  Department Of Applied Chemistry Tokyo University Of Agriculture And Technology

• TAJIMA Jumpei

  Department of Applied Chemistry, Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and

• ISHIZUKI Masanari

  Department of Applied Chemistry, Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and

• NAGASHIMA Toru

  Tsukuba Research Laboratories, Tokuyama Corporation

• TAKADA Kazuya

  Tsukuba Research Laboratories, Tokuyama Corporation

• Murakami H

  Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tokyo University Of Agriculture And T

• Takada Kazuya

  Tsukuba Research Laboratories Tokuyama Corporation

• Tajima Jumpei

  Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tokyo University Of Agriculture And T

• Nagashima Toru

  Tsukuba Research Laboratories Tokuyama Corporation

• Kumagai Yoshinao

  Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tokyo University Of Agriculture And T

• Ishizuki Masanari

  Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tokyo University Of Agriculture And T

• 纐纈 明伯

  東京農工大学大学院工学研究院応用化学部門

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