高速・高精度アクチュエータの開発--2D Nano-motion Actuatorの高速・高精度位置決め

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概要

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著者

• 森 英季

  秋田県産業技術総合研究センター

• 櫻田 陽

  秋田県産業技術総合研究センター

• 宮脇 和人

  秋田高専

• 森 英季

  秋田県産業技術総合研究セ

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