空気静圧軸受け・リニア・アクチュエータによる高精度トラッキング
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概要
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直動型空気静圧軸受けを有するリニア・アクチュエータを用いて、高精度トラック・フォローイング及び高速なシーク動作のための位置決め機構を提案した。試作したアクチュエータの共振周波数は、市販HDDに搭載されているロータリ型に比べ、約2倍程高いことが確認できた。このトラッキング・システムを用いてトラッキングを行なったところ、一般に許容されるトラッキングエラー(トラック幅の1/10)の更に1/2でトラック・フォローできることを確認した。またPDコントローラを用いたフィードバック制御によって、100Gbit/in^2以上の高TPIで必要となる10nm分解能の高精度位置決めが可能であることをステップ応答やランプ応答から検証した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-02-09
著者
-
大日方 五郎
秋田大学鉱山学部
-
森 英季
秋田県産業技術総合研究センター
-
干野 隆之
コニカミノルタオプト株式会社
-
大内 一弘
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
大日方 五郎
秋田大学
-
森 英季
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
干野 隆之
ミノルタ株式会社
-
大日方 五郎
名古屋大学大学院工学研究科機械工学専攻
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