PZTと変位拡大機構を用いた高精度トラッキング・アクチュエータ
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概要
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磁気記録の記録再生評価に用いられているスピンスタンドでは、温度ドリフトやスピンドルの回転振れ等による外乱の影響が顕在化し、従来からの機械剛性や精度の向上では対応が難しくなり始めている。今後、更に狭トラック化される磁気ヘッドでは、トラッキングで許容される誤差が10nmに達し、HDD(Hard Disk Drive)と同様なトラック・フォローの機能が必要になるものと予想される。このような外乱変動に適応する手法として、HGA(Head Gimbals Assembly)近傍に微動アクチュエータを設けるピギーバック方式が検討され、実際に圧電素子と拡大変位機構で構成されるアクチュエータ試作・評価した。アクチュエータ単体の特性は、共振周波数11.8kHz,変位特性1.54m/50Vで、数トラックを高速に移動できる機械特性を有しており、優れたトラック追従性と制御性を兼ね備えていることを確認した。
- 2002-02-08
著者
-
森 英季
秋田県産業技術総合研究センター
-
渋谷 嗣
秋田大学
-
大内 一弘
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
畠野 衛
ナノテスト
-
森 英季
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
畠野 衛
協同電子システム株式会社
-
相川 進一
協同電子システム株式会社
-
高木 均
協同電子システム株式会社
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