陽極酸化アルミニウム膜による片持ち梁の製作
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概要
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A new fabrication process of micromachines using anodic oxidized aluminium film has been developed. The aluminium oxide film was made by anodizing evaporated aluminium in H2SO4 solution with a constant voltage. For examples, a cantilever beams have been fabricated which is deflectable by electrostatics. And the Yongs modulus is determined from the resonance frequency of these beams, E=327GPa. From these results, we therefore conclude that anodic oxidized aluminium film is a good material of micromachines.
- 社団法人 電気学会の論文
著者
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部非常勤講師
-
飯田 昌盛
東海大学工学部電子工学科
-
岡田 工
東海大学短期大学部
-
崔 一〓
東海大学短期大学部
-
崔 一
東海大学チャレンジセンター
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部情報ネットワーク学科
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部
-
飯田 昌盛
東海大学工学部
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