マイクロマシーニングによるマイクロリードスイッチの開発
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概要
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現状のリードスイッチ動作特性と同等の性能を有する小型リードスイッチを、マイクロマシン技術を利用して実現できるかの検討を行った。現在、半導体プロセスに基づくマイクロマシン技術を活かした、マイクロマシンの開発が盛んに行われているが、その中で、スイッチ、センサ製作などで多く利用されている構造に、片持ち梁構造がある。この片持ち梁構造を利用して、梁に磁性体(ニッケル)をメッキする事で、マイクロリードスイッチを試作した。試作したマイクロリードスイッチの梁部は幅100μm、厚み1μn、長さ1000μmとし、磁界により1mT以下で動作した。これにより磁気スイッチとしての機能が確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-04-12
著者
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部非常勤講師
-
小林 達郎
沖センサデバイス:機構デバイス研究専門委員会
-
小林 達郎
株式会社沖センサデバイス技術部開発設計課
-
有馬 尚邦
株式会社沖センサデバイス技術部
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部情報ネットワーク学科
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部
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