ポーラスシリコンを用いた集積化有機ガスセンサにおける電流応答機構
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概要
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P形単結晶シリコン基板上に1μm程度のポーラスシリコン(PS)層を形成させたn^+/PS/n^+プレーナ構造のガスセンサを試作し, エタノールガスに対する電流応答機構を検討した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-01-25
著者
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部非常勤講師
-
鈴木 俊明
日本電子株式会社
-
岡田 工
東海大学短期大学部
-
本間 和明
東京電機大学工学部電気電子工学科
-
本間 和明
東京電機大学工学部物質工学科
-
本間 和明
東京電機大学
-
崔 一〓
東海大学短期大学部
-
渡辺 一仁
東海大学付属浦安高等学校
-
崔 一瑛
東海大学短期大学部半導体デバイスセンタ
-
鈴木 俊明
日本電子 応用研セ
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部情報ネットワーク学科
-
本間 和明
東京電機大 工
-
佐藤 洋一
東海大学短期大学部
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