SiH_4-N_2プラズマ中におけるN_2ラジカルの発光特性
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概要
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- 日本材料科学会の論文
- 2006-02-20
著者
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本間 和明
東京電機大学工学部電気電子工学科
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本間 和明
東京電機大学
-
本橋 光也
東京電機大学工学部
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本橋 光也
東京電機大学工学部情報通信工学科
-
蛭田 泰隆
東京電機大学大学院工学研究科
-
本間 和明
東京電機大 工
-
蛭田 泰隆
東京電機大学
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