蛭田 泰隆 | 東京電機大学

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概要

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• 同名の論文著者
• 東京電機大学の論文著者

関連著者

• 本間 和明

  東京電機大学工学部電気電子工学科

• 本間 和明

  東京電機大学

• 本橋 光也

  東京電機大学工学部

• 本橋 光也

  東京電機大学工学部情報通信工学科

• 蛭田 泰隆

  東京電機大学大学院工学研究科

• 本間 和明

  東京電機大 工

• 蛭田 泰隆

  東京電機大学

• 仲田 英起

  東京電機大学

• 仲田 英起

  東京電機大学工学部

• 芦部 健太

  東京電機大学大学院工学研究科

• 渡辺 侑

  東京電機大学工学部

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著作論文

• SiH_4-CH_4系ガスのグロー放電分解により生じるプラズマの発光特性(半導体材料・デバイス)
• SiH_4-N_2プラズマ中におけるN_2ラジカルの発光特性
• 原料ガス分離分解型プラズマCVD法により生じるH_2-N_2プラズマ状態の解析
• C-11-2 原料ガス分離分解型プラズマCVD法を用いたa-SiN:H薄膜の作製(C-11. シリコン材料・デバイス, エレクトロニクス2)

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