PdNi合金薄膜パターンを有するSQUIDの電気的特性(薄膜,デバイス技術及びその応用,一般)
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概要
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我々はSQUID上にPdNi合金薄膜パターンを持つ構造のテバイスを作製し、PdNi合金パターンがSQUIDの電気的特性に与える影響について調査を行った。PdNi合金はPdとNiの同時スパッタによって堆積し、リフトオフ法もしくはArイオンミリンクによってパターンを形成した。SQUIDの外部磁場特性をPdNi合金パターン形成前後で比較したところ、SQUIDの冷却中に磁場を加えることによって位相かシフトすることを確認し、超伝導位相シフタを実現した。またNi割合が4at%となるPdNiを用いた場合てはSQUIDのインタクタンスの増加か得られた。
- 2014-01-16
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