ISTEC 10-kA/cm^2 Nbアドバンストプロセス2を用いた4x4スイッチ回路の動作実証(信号処理基盤技術及びその応用,一般)
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概要
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本稿では、ISTECアドバンストプロセス2(ADP2)を用いて作製した4x4スイッチ回路の動作評価結果を示す.動作周波数80GHzで設計を行い、112GHzまでの動作を確認した。この値はISTEC標準プロセス2(STP2)で作製した4x4スイッチ回路の2倍以上の動作速度である。また面積は、2段のPTL配線専用層を追加した効果及び論理セルサイズの一辺が3/4に縮小されたことにより、STP2で設計された4x4スイッチと比較して81%削減された。
- 2010-07-15
著者
-
藤巻 朗
名古屋大学
-
田中 雅光
名古屋大学
-
赤池 宏之
名古屋大学大学院工学研究科
-
伊藤 将人
名古屋大学
-
岡田 将和
名古屋大学
-
赤池 宏之
名古屋大学
-
藤巻 朗
名古屋大学量子工学専攻
-
伊藤 将人
名古屋大学:戦略的創造研究推進事業
-
岡田 将和
名古屋大学:戦略的創造研究推進事業
-
藤 巻朗
名古屋大学 工学部
-
イリーナ カタエバ
名古屋大学
-
纐纈 智仁
名古屋大学
-
藤巻 朗
名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻
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