大規模SFQ回路のためのNb多層アドパンストプロセスの開発(超伝導エレクトロニクス基盤技術及び一般)
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概要
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大規模SFQ回路の開発を目的として、臨界電流密度10kA/cm^2のNb多層アドバンストプロセス(ADP)を開発し、そのプロセスの信頼性向上に向けた研究を行っている。そのために、これまで、接合、抵抗、コンタクトなどの各種素子特性や欠陥評価をするためのプロセス評価チップと、実際のSFQ回路で欠陥評価をするためのシフトレジスタチップの測定評価の両面から、プロセスの評価を行い信頼性向上に努めてきた。今回は、この二つの測定結果の相関と共にシフトレジスタの測定結果の詳細を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2011-10-05
著者
-
佐藤 哲朗
超電導工学研究所
-
永沢 秀一
超電導工学研究所
-
吉川 信行
横浜国立大学大学院工学府
-
藤巻 朗
名古屋大学
-
高木 一義
名古屋大学大学院情報科学研究科
-
赤池 宏之
名古屋大学大学院工学研究科
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究センター
-
吉川 信行
横浜国立大学大学院:crest-jst
-
吉川 信行
横浜国立大学大学院 工学府
-
吉川 信行
横浜国立大学:jst-crest
-
吉川 信行
横浜国立大学大学院工学研究院
-
吉川 信行
横浜国大工
-
日高 睦夫
財)国際超電導産業技術研究センター
-
高木 直史
名古屋大学大学院情報科学研究科情報システム学専攻
-
高木 一義
名古屋大学大学院情報科学研究科:戦略的創造研究推進事業
-
吉川 信行
横浜国立大学大学院 工学研究院
-
Yoshikawa N
Yokohama National Univ. Yokohama Jpn
-
吉川 信行
横浜国大 大学院工学研究院
-
高本 直史
名古屋大学
-
赤池 宏之
名古屋大学
-
藤巻 朗
名古屋大学量子工学専攻
-
高木 直史
名古屋大学情報科学研究科
-
藤 巻朗
名古屋大学 工学部
-
佐藤 哲朗
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
永沢 秀一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
日野出 憲治
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
高木 一義
名古屋大学
-
藤巻 朗
名古屋大 大学院
-
高木 直史
名古屋大学
-
吉川 信行
横浜国立大学 工学部 電子情報工学科
-
永沢 秀一
Istec-srl
-
高木 直史
京都大学大学院:crest-jst
-
高木 一義
名古屋大学大学院:crest-jst
-
日高 睦夫
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
藤巻 朗
名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻
-
高木 一義
京都大学大学院情報学研究科
-
高木 直史
京都大学大学院
-
藤巻 朗
名古屋大学:戦略的創造研究推進事業
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
日高 睦夫
国際超電導産技研センター
-
永沢 秀一
国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
高木 一義
京都大学大学院,ALCA-JST
-
高木 一義
京都大学大学院 情報学研究科 通信情報システム専攻
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