Nb-AlO-Nbジョセフソン接合の異常な臨界電流値の解析(デジタル,一般)
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概要
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Nb-AlO-Nbジョセフソン接合(JJ)の超電導臨界電流値(Ic)バラツキ・変動について検討した。従来から知られている、リソグラフィー起因のJJ寸法バラツキ、プラズマプロセス等による接合劣化以外の新しいIc変動メカニズムを見つけた。回路の製造プロセス中に水素がニオブ中に出入り・拡散することに起因した接合特性の変動である。この現象は、同一寸法のJJの臨界電流値が20〜30%ばらつくこと、変動するのは特定の接合の臨界電流値であるといった特徴をもっている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-01-18
著者
-
日高 睦夫
超電導工学研究所
-
日野出 憲治
超電導工学研究所
-
佐藤 哲朗
超電導工学研究所
-
永沢 秀一
超電導工学研究所
-
日野出 憲治
超電導工研
-
佐藤 哲朗
超電導工研
-
永沢 秀一
超電導工研
-
日高 睦夫
超電導工研
-
日高 睦夫
財)国際超電導産業技術研究センター
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究セ
-
永沢 秀一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
日野出 憲治
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
永沢 秀一
Istec-srl
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