極低温検出器アレイ読み出しのためのマイクロ波SQUIDマルチプレクサ(超伝導エレクトロニクス基盤技術,一般)
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概要
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超伝導転移端カロリメータ(TES)等の低インピーダンスな低温検出器の信号を読み出すためにはSQUIDセンサが必須であるが、検出面積の増大に有効な多画素化を実現するためには検出した信号を多重化して配線数を減らし熱流入を抑制する必要がある。この多重化の方法としてNISTグループが提案したマイクロ波SQUIDマルチプレクサがあり、原理的には、100チャネル以上のTES(1チャンネル当たり信号帯域100kHz以上)をわずか往復2本のマイクロ波ケーブルで多重化可能である。また、理想的には発熱のないrf SQUIDをセンサとするため極低温ステージの検出器近傍に設置できる、比較的単純な構造であり高い作製歩留まりが期待できる等のメリットもある。今回インダクタンスを精度よく制御できるマイクロストリップ型コイルを用いたSQUIDを採用してマイクロ波読み出しマルチプレクサの設計・作製・評価を行ったので報告する。5mm角上に5GHz付近のマイクロ波共振器と集積した16チャネルSQUIDチップを用いて試験を行い、3チャネルの同時読み出し動作を確認した。
- 2012-10-18
著者
-
永沢 秀一
超電導工学研究所
-
佐藤 泰
産業技術総合研究所
-
平山 文紀
産業技術総合研究所
-
山田 隆宏
(独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
山森 弘毅
(独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
神代 暁
(独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
福田 大治
産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
日高 睦夫
財)国際超電導産業技術研究センター
-
永沢 秀一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
山森 弘毅
産業技術総合研究所
-
山田 隆宏
産業技術総合研究所
-
神代 暁
産業技術総合研
-
山森 弘毅
産業技術総合研
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
日高 睦夫
国際超電導産技研センター
-
永沢 秀一
国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
永沢 秀一
国際超電導産技研センター
-
福田 大治
産業技術総合研究所
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