C-8-4 大規模 SFQ 回路のための Nb 系多層平坦化プロセス技術
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-09-10
著者
-
日高 睦夫
超電導工学研究所
-
日野出 憲治
超電導工学研究所
-
佐藤 哲朗
超電導工学研究所
-
永沢 秀一
超電導工学研究所
-
赤池 宏之
名古屋大学大学院工学研究科
-
赤池 宏之
超電導工学研究所
-
北川 佳廣
超電導工学研究所
-
杉田 正夫
超電導工学研究所
-
日高 睦夫
財)国際超電導産業技術研究センター
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究セ
-
赤池 宏之
名古屋大学
-
永沢 秀一
超電導工学研
-
北川 佳廣
超電導工学研究所:crest-jst
-
永沢 秀一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
日野出 憲治
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
永沢 秀一
Istec-srl
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